石墨盤的檢側(cè)方法

1.根據(jù)權(quán)利要求6-8任一項所述的裝置， 其特征在于， 所述掃描模塊， 用于發(fā)射超聲波；接收經(jīng)過所述石墨盤反射回的超聲波；根據(jù)發(fā)射的超聲波的強(qiáng)度和反射回的超聲波的強(qiáng)度，確定所述石墨盤的反射率  

2.根據(jù)權(quán)利要求6所述的裝置，其特征在于，所述第一判斷模塊， 用于顯示所述石墨盤的表面圖像；接收人工操作指令，所述人工操作指令用于指示所述石墨盤的表面是否存在破損；或者，將所述石墨盤的表面圖像輸入預(yù)定的分類器，根據(jù)所述分類器的結(jié)果確定所述石墨盤的表面是否存在破損。  

一種石墨盤檢測裝置，其特征在于，所述裝置包括：拍攝模塊， 用于拍攝石墨盤的表面，得到所述石墨盤的表面圖像；

第一判斷模塊， 用于根據(jù)所述石墨盤的表面圖像判斷所述石墨盤的表面是否存在破損

第二判斷模塊， 用于當(dāng)所述石墨盤的表面不存在破損時，根據(jù)所述石墨盤的表面圖像判斷所述石墨盤的表面是否存在色差；掃描模塊， 用于當(dāng)所述石墨盤的表面不存在色差時，對所述石墨盤進(jìn)行超聲波掃描，得到所述石墨盤的反射率；分類模塊， 用于根據(jù)所述石墨盤的反射率對所述石墨盤進(jìn)行分類，同一外延生長設(shè)備采用同一類所述石墨盤進(jìn)行外延生長。

3.根據(jù)權(quán)利要求6所述的裝置，其特征在于，所述拍攝模塊， 用于將所述石墨盤的表面分為多個區(qū)域；依次拍攝所述石墨盤的表面的多個區(qū)域，得到多張所述石墨盤的表面圖像。

4.根據(jù)權(quán)利要求6-8任一項所述的裝置，其特征在于，所述第二判斷模塊， 用于將所述石墨盤的表面圖像分為多個區(qū)域；計算每個區(qū)域的平均灰階值； 計算任意兩個相鄰區(qū)域的平均灰階值的差值；當(dāng)存在任意兩個相鄰區(qū)域的平均灰階值的差值大于閾值時， 確定所述石墨盤的表面存在色差。